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半导体洁净车间注意事项

时间:2019-05-03  来源:车间净化工程|食品净化车间|洁净手术室|洁净实验室-济南顺奇净化工程有限公司  浏览次数: 104 次
文章简介:半导体洁净车间注意事项,   半导体组件空间单位都是以微米来计算的,所以微尘颗粒附着在制作半导体组件的晶圆上,很有可能影响到上面的精密导线布局的样式,造成短路或断路情况。因此所有半导体制程设备都

  半导体组件空间单位都是以微米来计算的,所以微尘颗粒附着在制作半导体组件的晶圆上,很有可能影响到上面的精密导线布局的样式,造成短路或断路情况。因此所有半导体制程设备都必须放置在隔绝粉尘进入的密闭空间里,这就是半导体洁净车间的来由。

  下面给大家说说出入半导体洁净车间需要注意的事项:

  1.半导体洁净车间内部要确保粉尘只出不进,因此洁净车间室内要保持大于大气压的环境,这就需要用大型鼓风机将经净化设备的空气源源输入洁净车间中。

  2.为保持恒温恒湿,大型空调设备须搭配前面的鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久,空调就得开多久。

  3.所有经净化设备的空气流动方向均由上往下为主,因此洁净车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀,使尘埃细菌等在洁净车间内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。

  4.所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。

  5.所有人或事物进出洁净车间,人必须穿配套防尘服,人或事物都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘先行除掉。

  6.半导体洁净车间内水的使用只限用去离子水。一是防止水中粉粒污染晶圆,二是防止水中重金属离子污染金氧半晶体管结构的带电载子信道,影响半导体组件的工作特性。去离子水是最佳的溶剂与清洁剂,在半导体工业的使用量非常惊人。

  7.半导体洁净车间用到的气源,包括吹干晶圆和机台空压所需要的,都需要使用98%氮气,吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。

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